Die Technische Universität Chemnitz ist eine innovative Wissenschafts- und Bildungseinrichtung, die sich den Herausforderungen im Wettbewerb zwischen den Hochschulen bewusst stellt. Sie bietet Persönlichkeiten mit ausgewiesener fachlicher Kompetenz, die konstruktiv an der innovativen Weiterentwicklung mitwirken möchten, attraktive Arbeitsplätze.

Ab dem nächstmöglichen Zeitpunkt ist an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien, eine Stelle als teilzeitbeschäftigte/r

### **Wissenschaftliche/r Mitarbeiter/in (m/w/d)**

### (50 % Entgeltgruppe 13 TV-L)

befristet bis 31.08.2028, mit der Option auf Weiterbeschäftigung zu besetzen. Die Auswahl erfolgt nach Eignung, Befähigung und fachlicher Leistung. Die Technische Universität Chemnitz ist bemüht, Frauen besonders zu fördern und bittet qualifizierte Frauen daher ausdrücklich, sich zu bewerben. Bei gleicher Eignung werden schwerbehinderte Menschen oder Gleichgestellte nach Maßgabe des SGB IX vorrangig berücksichtigt.

Die befristete Einstellung erfolgt gemäß den Regelungen des Wissenschaftszeitvertragsgesetzes (WissZeitVG) und des Sächsischen Hochschulgesetzes (SächsHSG) in der jeweils geltenden Fassung.

Ihre Aufgabenbereiche umfassen:

- **Wissenschaftliche Verantwortung im Rahmen des HaloFreeEtch-Projekts:** Koordination und Durchführung von Versuchsreihen zur Entwicklung und Optimierung halogenfreier Ätzprozesse für Silizium einschließlich zugehöriger in situ Diagnostik.
- **Erforschung Entwicklung von nachhaltigen Ätzverfahren:** Einsatz von Wasserstoff und innovativen Katalysatoren zur Substitution konventioneller halogenbasierter Prozesse
- **Analyse und Charakterisierung der Ätzprozesse:** Erstellung von Messkonzepten zur präzisen Charakterisierung der strukturierten Materialien.
- **Literaturrecherche und wissenschaftliche Dokumentation:** Untersuchung des aktuellen Forschungsstands zu halogenfreien Ätzverfahren und deren Anwendung in der Halbleiterfertigung.
- **Zusammenarbeit mit internationalen Projektpartnern:** Enge Kooperation mit den Partnern des HaloFreeEtch-Projekts
- **Veröffentlichung der Forschungsergebnisse:** Präsentation der Ergebnisse auf Konferenzen und in Fachzeitschriften.
- **Betreuung von Studierenden:** Unterstützung bei der Betreuung von Abschlussarbeiten und studentischen Projekten im Themenfeld der Trockenstrukturierung.

Ihre Forschungsergebnisse nutzen Sie für wissenschaftliche Veröffentlichungen und die eigene Qualifizierung. Es handelt sich um eine Stelle zur wissenschaftlichen Weiterqualifikation.

Wenn Sie die Zusammenarbeit in einem interdisziplinären, hoch motivierten Team und die akademische Auseinandersetzung mit einem Thema hoher praktischer Relevanz reizen, sollten Sie folgende **Voraussetzungen** mitbringen:

- Abgeschlossenes, wissenschaftliches Hochschulstudium (Diplom, Master) im Bereich Mikrosysteme und Mikroelektronik oder vergleichbarere Disziplinen, welches den Zugang zur entsprechenden Qualifikationsebene eröffnet
- Ausgewiesene Vorkenntnisse und praktische Erfahrungen in den Bereichen Reaktives Ionenätzen, der Lithographie
- Praktische Erfahrungen in der Betreuung von Fertigungsprozessen in einer mikro- und nanotechnologischen Prozesslinie 
- Fundierte Kenntnisse in der physikalischen Analyse von Nanostrukturen und Bauelementen 
- Sehr gute Programmierkenntnisse in Matlab oder Phyton
- Sehr gute Englischkenntnisse in Wort und Schrift
- Teamfähigkeit, Kreativität sowie selbstständiges und strukturiertes Arbeiten an einer wissenschaftlichen Fragestellung.
- Interesse an innovativen Lösungen und ergebnisorientiertem Arbeiten.

Zudem müssen Sie die Einstellungsvoraussetzungen gemäß § 73 SächsHSG erfüllen.

Bitte sehen Sie unbedingt von der Einsendung von Originalunterlagen ab, da Ihre schriftlichen Unterlagen nicht zurückgesendet, sondern unter Beachtung datenschutzrechtlicher Bestimmungen vernichtet werden. Wünschen Sie eine Rücksendung, legen Sie Ihrer Bewerbung bitte einen ausreichend frankierten und adressierten Rückumschlag bei.

Bewerbungen sind unter dem Stichwort »**HaloFreeEtch**« mit den üblichen Unterlagen bis **16.12.2025** [elektronisch oder postalisch] an u.a. Adresse zu richten. Bitte beachten Sie, dass aus sicherheitstechnischen Gründen keine elektronischen Bewerbungen bzw. Anhänge von Bewerbungen im Stellenbesetzungsverfahren berücksichtigt werden können, welche über Verknüpfungen (Hyperlinks) zu Dritten zum Download zur Verfügung gestellt werden.

Technische Universität Chemnitz

Zentrum für Mikrotechnologien

Ansprechpartner: Tina Kießling

09107 Chemnitz

E-Mail: [tina.kiessling@zfm.tu-chemnitz.de](https://mailto:tina.kiessling@zfm.tu-chemnitz.de)

Die entsprechenden Informationen zur Erhebung und Verarbeitung personenbezogener Daten finden Sie unter [https://www.tu-chemnitz.de/verwaltung/personal/public/Datenschutz/dse\_dp.html](https://www.tu-chemnitz.de/verwaltung/personal/public/Datenschutz/dse_dp.html).